Метка: процесс
Задубленный слой фоторезиста
При использовании фоторезистивной маски для нанесения пленки нужной конфигурации маску изготовляют непосредственно на подложке, а затем на нее наносят пленку. После этого фоторезистивную маску вместе с находящейся на ней пленкой…
Пленки металлов
Подготовка подложки к осаждению начинается с того, что ее тщательно шлифуют и полируют методами механической полировки или путем травления. После этого ее очищают (часто с использованием ультразвука) и промывают.
Вакуумное напыление
Пленки металлов могут служить также в качестве анодов в электролитах для получения на них слоя окисла, который может использоваться для изоляции или для изготовления такого интегрального компонента, как конденсатор.
Современная интегральная схема
В многопластинчатых интегральных схемах отдельные части интегральной структуры выполняются на разных пластинках и соединяются между собой или с помощью проволочек методом термокомпрессии, или с помощью пленочных проводников, нанесенных на общем…
Основные технологические процессы изготовления тонких пленок
Тепловое разложение производится аналогичным образом, но вместо водорода используется инертный газ и происходит реакция разложения. Разложение паров производится в атмосфере, имеющей давление в несколько миллиметров ртутного столба.