Рубрика: Разработка средств цифровой вычислительной техники
Разработка средств цифровой вычислительной техники
Пленки металлов
Подготовка подложки к осаждению начинается с того, что ее тщательно шлифуют и полируют методами механической полировки или путем травления. После этого ее очищают (часто с использованием ультразвука) и промывают.
Вакуумное напыление
Пленки металлов могут служить также в качестве анодов в электролитах для получения на них слоя окисла, который может использоваться для изоляции или для изготовления такого интегрального компонента, как конденсатор.
Тепловое разложение
Вакуумное напыление является очень удобным методом быстрого осаждения пленок из различных материалов. Катодное распыление.
Основные технологические процессы изготовления тонких пленок
Тепловое разложение производится аналогичным образом, но вместо водорода используется инертный газ и происходит реакция разложения. Разложение паров производится в атмосфере, имеющей давление в несколько миллиметров ртутного столба.
Применение планарной технологии
Важнейшими из них являются: 1) возможность широкого применения масок; 2) возможность одновременного изготовления большого количества интегральных схем (доходящего до нескольких сотен); 3) возможность изготовления сложных интегральных схем, содержащих десятки и…