Тепловое разложение

Тепловое разложениеВакуумное напыление является очень удобным методом быстрого осаждения пленок из различных материалов. Катодное распыление.

Прочитать остальную часть записи »

Основные технологические процессы изготовления тонких пленок

Основные технологические процессы изготовления тонких пленокТепловое разложение производится аналогичным образом, но вместо водорода используется инертный газ и происходит реакция разложения. Разложение паров производится в атмосфере, имеющей давление в несколько миллиметров ртутного столба.

Прочитать остальную часть записи »

Применение планарной технологии

Применение планарной технологииВажнейшими из них являются: 1) возможность широкого применения масок; 2) возможность одновременного изготовления большого количества интегральных схем (доходящего до нескольких сотен); 3) возможность изготовления сложных интегральных схем, содержащих десятки и сотни интегральных компонентов. Таким образом, планарная технология является технологией массового производства, обеспечивающей получение недорогих высоконадежных интегральных микросхем.

Прочитать остальную часть записи »

Особенности технологических процессов, используемых в микроэлектронике

Особенности технологических процессов, используемых в микроэлектроникеВ соответствии с этим технологические процессы изготовления микроэлектронных схем можно условно разделить на тонкопленочные и полупроводниковые, а с точки зрения производства технологические процессы можно дополнительно разделить на основные, обеспечивающие получение локальных областей материалов нужного состава и толщины, и вспомогательные, обеспечивающие получение нужной геометрии этих областей. Прочитать остальную часть записи »

Уровень развития цифровых вычислительных и управляющих машин

Уровень развития цифровых вычислительных и управляющих машинВысокая надежность и дешевизна, свойственные микроэлектронике, достигаются за счет разнообразных комплексных технологических процессов, использующих сложную технологическую аппаратуру. В результате применения массовых методов производства и высокой степени автоматизации надежность микроэлектронных схем непрерывно увеличивается, сопровождаясь одновременно уменьшением стоимости.

Прочитать остальную часть записи »