Высокое пробивное напряжение на подложку позволяет использовать тонкопленочные резисторы при напряжениях в несколько сот вольт. Таким образом, тонкопленочные резисторы особенно полезны в тех случаях, когда требуются стабильные и точные сопротивления (различные стабильные усилители), большие номиналы сопротивлений (схемы, работающие с малыми токами) и когда требуются резисторы, имеющие хорошие частотные характеристики (высокочастотные усилительные и переключающие схемы). Применение тонкопленочных резисторов позволяет улучшить характеристики активных кремниевых интегральных компонентов.
Однако требование дополнительных этапов производства приводит к удорожанию интегральных схем, использующих тонкопленочные резисторы. Конденсаторы В интегральных схемах применяются три основных типа конденсаторов: конденсаторы, образованные смещенным в обратном направлении р-п переходом, металлокисно-полупроводниковые конденсаторы и тонкопленочные конденсаторы.
Конденсаторы, образованные смещенным в обратном направлении р-п переходом. Электронно-дырочный переход, смещенный в обратном направлении, обладает заметными емкостными свойствами [10, 20-22, 24, 28, 29, 31, 32J.