Металл-окисно-полупроводниковые (МОП) конденсаторы. Общий вид, поперечное сечение, эквивалентная схема и передаточное отношение емкостей С2/С1; полезной емкости и паразитной, для металл-окисно-полупроводникового конденсатора.
Одной пластинойконденсатора является пленка алюминия, осажденная на двуокись кремния, а другой пластиной служит находящийся под ней слой сильно легированного кремния п + — типа, образованный эмиттерной диффузией. Диэлектриком в металл-окисно-полупроводниковом конденсаторе является двуокись кремния.
Величина емкости определяется площадью и толщиной слоя двуокиси кремния.
Для увеличения емкости желательно использовать тонкий слой двуокиси кремния, однако при этом возрастает опасность коротких замыканий при изготовлении интегральных схем.
Поэтому удельная емкость обычно не превышает нескольких сот пф/мм2. Металло-окисно-полупроводниковые конденсаторы имеют ряд преимуществ по сравнению с конденсаторами, образованными смещенными в обратном направлении р-п переходами. Они неполярны, более стабильны, емкость не зависит от напряжения.
Температурный коэффициент МОП конденсатора может быть сделан меньше 0,03%/° С. Применение сильно легированного слоя п+-типа снижает последовательное паразитное сопротивление конденсатора R до 5-10 ом, благодаря чему можно получить добротность, достигающую нескольких сотен.