Интегральные диффузионные резисторы

Интегральные диффузионные резисторыМаксимальная допустимая мощность, рассеиваемая диффузионными резисторами, достаточно велика и определяется, в первую очередь, возможностями осуществления теплоотвода через корпус. Таким образом, диффузионные резисторы обеспечивают получение сопротивлений в диапазоне от единиц ом до нескольких десятков килоом. Абсолютные величины сопротивлений имеют сравнительно большой разброс от одного образца интегральной схемы к другому, но обеспечивается очень хорошее согласование относительных величин сопротивлений в одной интегральной схеме.

Тонкопленочные резисторы.

Тонкопленочные резисторы используют тонкую пленку материала с большим сопротивлением слоя, располагающуюся на изолирующей подложке,.

Выводы тонкопленочного резистора формируются путем использования проводящих тонких пленок.

Тонкопленочные резисторы могут осаждаться на различных подложках и использовать различные материалы, как, например, нихром, окись олова, металлокерамику, тантал, титан, поликристаллический кремний и др. Большой интерес представляют пленки из нихрома (NiCr), осаждаемого на двуокись кремния (Si02), поскольку эти пленки совместимые полупроводниковыми интегральными активными компонентами и могут осаждаться на кремниевых пластинах, в которых уже сформированы активные интегральные компоненты.