Цифровые вычислительные средства оборудования самолетов
  • 24.08.2017
    Индуктивные компоненты

    Плоскостной транзистор имеет 3 важных особенности. Во-первых, малый ток затвора, или входной ток, являющийся током утечки смещенного в обратном направлении диода затвор — канал. Читать полностью  Читать полностью →

  • 21.08.2017
    Полевые транзисторы

    Несмотря на кажущуюся простоту, изготовление плоскостных полевых транзисторов, особенно в интегральных структурах вместе с обычными транзисторами, требует большого числа производственных этапов и приводит к дорогим и сложным структурам, как, например,... 
    Читать полностью

  • 18.06.2015
    Изоляция от подложки

    Как и в случае тонкопленочных резисторов, производство интегральных схем, содержащих полупроводниковые активные элементы и тонкопленочные конденсаторы, требует большего числа производственных этапов и более дорого. Читать полностью  Читать полностью →

Пленки металлов

Пленки металловПодготовка подложки к осаждению начинается с того, что ее тщательно шлифуют и полируют методами механической полировки или путем травления. После этого ее очищают (часто с использованием ультразвука) и промывают. В вакуумной камере подложки часто подвергаются дополнительной очистке путем ионной бомбардировки.

Высокая чистота подложки и тщательная ее шлифовка и полировка являются основными условиями обеспечения хорошего сцепления пленки с подложкой и высокого качества пленки.

Маскирование. Для получения нужной геометрической формы и размеров пленочных компонентов интегральных схем используется процесс маскирования.

Маскирование включает в себя изготовление масок и нанесение или удаление (путем травления) пленок через них. Имеется два основных вида масок: металлические и фоторезистивные. Для получения фоторезистивной маски подложку, на которую необходимо нанести такую маску, покрывают тонким слоем специальной защитной фоточувствительной эмульсии — фоторезиста (наиболее широко используются фоторезисты KPR, KMER, KTFR фирмы Kodak — США), который соответствующим образом обрабатывают и подготавливают к засвечиванию.

Читайте так же:

Комментарии запрещены.