Интегральные подсистемы обеспечат дальнейшее увеличение надежности как за счет снижения числа используемых электронных приборов и упрощения их межсхемных соединений, так и за счет широкого применения в таких интегральных подсистемах внутренней избыточности. Однако наиболее значительного развития цифровые вычислительные и управляющие машины и системы достигнут на третьем этапе микроэлектроники, когда будут созданы целые интегральные системы. Такие высоконадежные интегральные системы будут насчитывать десятки миллиардов ячеек в кубическом сантиметре и смогут обрабатывать большие объемы информации с большой скоростью.
Таким образом, основными задачами микроэлектроники ЦВМ является создание высоконадежных и дешевых цифровых вычислительных и управляющих машин и систем, обладающих непрерывно улучшающимися характеристиками. Уровень развития цифровых вычислительных и управляющих машин и систем, в первую очередь аэрокосмических, определяется в настоящее время главным образом уровнем развития технологии, являющейся основой увеличения надежности и улучшения характеристик ЦВМ. Это особенно верно в эпоху микроэлектроники, когда ЦВМ состоят не из отдельных деталей, а из интегральных схем, а в дальнейшем будут состоять и из интегральных подсистем и интегральных систем, возможности которых можно понять и использовать, только зная особенности технологических процессов, применяемых для их изготовления.